การพัฒนาเครื่องเคลือบฟิล์มบางต้นทุนต่ำ และการวิเคราะห์ฟิล์มบางทองแดง
Abstract
เครื่องเคลือบฟิล์มบางต้นทุนต่ำถูกพัฒนาโดยกลุ่มวิจัย ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ โดยมีจุดประสงค์เพื่อใช้ในการเรียนการสอนรายวิชาปฏิบัติการฟิสิกส์ และลดการนำเข้าอุปกรณ์ราคาแพงจากต่างประเทศ วัสดุที่เลือกใช้คำนึงจากราคาที่ต้องไม่สูง และสามารถหาซื้อได้โดยง่าย โดยเลือกเป้าสารเคลือบที่ใช้เป็นเป้าทองแดง มีอัตราการเคลือบ 67.87 นาโนเมตรต่อชั่วโมง ตัวอย่างถูกตรวจสอบลักษณะทางกายภาพโดยใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (scanning electron microscope; SEM) และเครื่องเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ (X-ray diffractrometer; XRD)
Keywords
Full Text:
PDFReferences
จักรพันธ์ ถาวรธิรา (2546). การศึกษาลักษณะเฉพาะกระแส-ความต่างศักย์ของกระบวนการไบอัส สปัตเตอริง. ใน เอกสารการประชุมวิชาการวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งประเทศไทย ครั้งที่29. 216-217. กรุงเทพฯ: มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี.
นิรันดร์ วิทิตอนันต์ (2546). การวัดความหนาฟิล์มบางทองแดงด้วยเทคนิคโพรบ 4 เข็ม. ใน เอกสารการประชุมวิชาการวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งประเทศไทย ครั้งที่29. 276-279. กรุงเทพฯ: มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี.
สกุล ศรีญาณลักษณ์ (2546). การเตรียมฟิล์มบางอลูมิเนียมไนไตรด์ โดยวิธีรีแอกทีฟสปัตเตอริง. ใน เอกสารการประชุมวิชาการวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งประเทศไทย ครั้งที่29. 126-128. กรุงเทพฯ: มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี.
Aldea, C. (2014). A new x-ray line profile approximation used for the evaluation of the global nanostructure of nickel clusters. Optroelectronics and Advanced Materials. (6). 225-235.
Kapoor, D. (2013). X-ray diffraction line profile analysis for defect study in Zr-2.5% Nb material. Mater. Sci. (27), 59-67.
Quaas, H. (2003). Investigation of diffusion and crystallization processes in thin ITO film by temperature and time resolved grazing incidence X-ray diffractrometry. Surface Science. (540), 337-342.
Voigt, M. (2013). Electrical properties of thin RF sputtered aluminium oxide film. Materials Science and Engineering B. (109), 99-103.
Refbacks
- There are currently no refbacks.